晶圆制作解决方案之利器 — 中空伺服电机

  跟着信息技术的快速地开展，半导体工业日益成为全世界最重要的工业之一。现在，半导体设备的国产化需求急剧上升，得益于半导体职业的蓬勃开展和国家方针的支撑。在此大布景下，安川电机深化对半导体设备和工艺的研讨，致力于为客户供给优质的解决方案。

  清洗工艺贯穿于晶圆制作的整一个完好的进程，是确保良品率的要害之一。清洗工艺的好坏不只影响外表的洁净度，还会对芯片的电学功能、稳定性等产生直接影响。

  以往的结构是伺服经过皮带轮设备衔接中空轴，结构相对杂乱，占有空间。经过选用中空伺服电机，可简化机械结构以完成节省空间的意图。

  中空部的转动轴采纳不锈钢，并选用低发尘标准的特别润滑脂，有效地减少了粉尘的产生。

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